
有些真空工藝會發作許多的塵土,假如塵土隨被抽氣體進入油封真空泵內混在泵油中,會像研磨劑一樣加速泵腔內零件的磨損,對泵轉子和泵腔構成磨損和破壞,堵塞油路或使泵無法作業,假如塵土進入真空閥門則會使密封失效而走漏,因此塵土的躲避和過濾己成為添加方形真空腔體的運用壽命,添加生產率的關鍵問題,在有塵土的腔體制造中,要選用塵土過濾器。
在塵土量較少時,能夠由泵油過濾系統濾除,但塵土量較大時,為不讓真空泵損壞,讓真空泵的正常作業要運用除塵器。常用精細腔體制造塵土過濾方法有以下幾種:
(1)旋風離心式。進氣口與筒體成偏疼放置,塵土隨氣流旋轉,因離心力作用而沉降在過濾器的底部。
(2)油淋式。在油泵的作用下,使真空泵油從除塵器的頂部高速噴下,油霧與上升的氣流互相作用吸附,混在氣流中的塵土與油一起沉降至油池。
(3)油濕介質粘附式。塵土在氣流作用下磕碰用真空泵油浸濕的介質表面而被粘附,常用介質有環狀或顆粒狀陶瓷、金屬絲條等。
(4)介質阻遏式。運用介質的機械阻遏作用過濾塵土,常用介質有金屬絲網、天然或合成纖維、多孔金屬、多孔塑料等。
(5)靜電吸附式。運用真空中氣輝光放電構成等離子體,塵土在等離子體中附著電荷,在電場力作用下被驅向電極表面而被捕集。
(6)混合式。將以上幾種過濾方法進行組合構成混合的過濾方法。
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